삼성전자-ASML, EUV용 차세대 광원 업체 검토
삼성전자-ASML, EUV용 차세대 광원 업체 검토
  • 안석현 기자
  • 승인 2021.03.24 08:32
  • 댓글 0
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현재는 ASML 자회사 사이머가 공급
기존 대비 EUV 출력 획기적으로 개선한 기술
삼성전자와 네덜란드 ASML이 극자외선(EUV) 노광용 차세대 광원을 테스트하고 있다.
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